산업용 공구 및 장비의 세계적인 선두기업 아트라스콥코는 서울 코엑스에서 열리는 20회 반도체대전(SEDEX)에 참가하며 국내 최초로 반도체 장비 유지보수를 위한 스마트 PM 솔루션을 선보인다.
반도체대전은 메모리, 시스템, 반도체는 물론 반도체 제조용 장비, 부품, 설계, 재료, 설비 분야뿐 만 아니라 센서, 자동차용 반도체, 사물인터넷(IoT), 헬스케어 등 반도체를 수요로 하는 다양한 분야를 아우르는 국내 대표적인 반도체 전문 전시회이다.
아트라스콥코 산업용공구 사업부문은 이번 전시회에서 부스를 마련하고, 반도체 제작의 각 장비마다 사용될 수 있는 자동화된 유지보수 시스템 ‘스마트 PM솔루션(Smart Preventive Maintenance Solution)’과 해당 장비를 제조 하는데 적용 가능한 자동 조립/계측 시스템을 소개할 예정이다. 또한, 실제로 부스에서 참관객이 스마트 PM 솔루션을 직접 체험할 수 있는 프로그램과 더불어 출시 기념 프로모션도 진행된다.
반도체 제조업의 경우 고가의 반도체 장비로 14단계의 과정을 거쳐 완제품을 만들어내는 섬세한 공정 과정에 비해 유지 보수 작업은 작업자가 일반 툴을 이용해 수작업으로 진행된다.
다양한 작업자에 의해 불규칙하게 수행되는 볼트 조립 작업이나 올바르지 않게 사용된 저가의 PM 공구는 잦은 오류나 고장을 일으키는 원인으로 꼽힌다. 또, 작업자의 손목에 가해지는 피로도가 누적되어 조립의 정확성이 감소되어 결국 반도체 품질 저하와 반도체 장비의 사용연한 감소로 이어지게 된다.
아트라스콥코의 스마트 PM 솔루션은 수작업으로 인한 생산성 저하를 막고 장비의 사용 연한을 극대화시키기 위해 개발된 자동 조립/계측 시스템이다. 정교하고 자동화된 공구는 물론, 작업자 가이드 시스템을 통한 정확한 위치 제어로 웨이퍼 품질 향상과 장비 고장율 감소도 기대할 수 있다.
스마트PM 솔루션은 협동 로봇에 장비 위치 제어 시스템을 연동한 고정형과 이동 카트에 무선 전동 너트러너를 연계한 이동형이 있으며, 현장 상황에 맞게 최적의 솔루션을 선택할 수 있다. 두 옵션 모두 작업 모니터링과 빅데이터 분석을 위한 데이터 분석 프로그램이 기본적으로 포함되어 각 작업 별 오류 원인 분석이 가능하다.
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