어플라이드머티어리얼즈는 디스플레이 업계 최초로 인라인(inline) 고해상도 전자빔 검사(E-Beam Review, EBR) 시스템을 선보인다고 26일 밝혔다. 이 시스템을 통해 유기발광다이오드(OLED) 및 초고화질 액정표시장치(UHD LCD) 제작사는 수율 극대화를 달성하고 시장에 신규 디스플레이 컨셉을 내보낼 수 있게 되었다.
차세대 디스플레이는 갈수록 더 많은 공정 단계를 거치게 되는데, 이 과정에서 아주 미세한 오염물질이 자주 발생되어 새로운 형태의 결함을 발생시킨다. 현재 사용되고 있는 디스플레이용 인라인 자동광학결함검사장비는 중대한 결함 및 사소한 결함의 구분 그리고 체계적인 결함 원인 발견에 있어 주사전자현미경(SEM)에 비해 효과적이지 않다.
그러나 기존의 SEM 분석의 경우, 유리 기판을 조각조각 쪼갠 후 개별 조각을 현미경으로 검사해야 해 비용과 시간이 많이 들뿐 아니라 전체 패널에서 결함의 위치가 어디인지 판별하기가 거의 불가능하다는 단점이 있었다.
어플라이드머티어리얼즈는 그 동안 반도체 소자 검사용 SEM 및 대면적 디스플레이 진공 플랫폼 분야에서 쌓아온 역량을 기반으로 기존 단점을 해결한 신규 인라인 EBR 기술을 탄생시켰다. 이번 신규EBR 시스템은 이러한 단점 없이 가장 빠르고 효과적으로 모바일 기기 및 TV 용 첨단 디스플레이의 주요 결함을 발견하고 문제를 해결할 수 있도록 돕는다.
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