ACROFAN

어플라이드머티어리얼즈, 차세대 전자빔 반도체 검사 장비 선보여

기사입력 : 2016년 07월 12일 19시 02분
ACROFAN=권용만 | yongman.kwon@acrofan.com SNS
어플라이드머티어리얼즈는 12일 차세대 전자빔(e-beam) 검사 장비 ‘어플라이드 프로비전(Applied PROVision™)’ 시스템을 선보인다고 밝혔다. 최근 차세대 노드(node)로의 변화를 꾀하고 있는 주요 파운드리, 로직, D램 및 3D 낸드 제조사가 필요로 하는 초고도 분해능(resolution) 및 이미지 품질을 가장 빠른 처리량으로 제공하는 것이 장점이다.

‘어플라이드 프로비전’ 시스템은 어플라이드머티어리얼즈가 20년 이상 쌓아온 전자빔 측정계측 및 검사 기술력의 결정체다. 업계 최초로 1나노 미만 분해능을 갖춰 타 기술로는 검출이 불가한 초미세 불량을 감지할 수 있다.

기존 장비 대비 3배 이상 빠른 처리량으로 정밀 공정 특화 검사와 반도체 성능 예측 및 감지가 가능하며, 팹제품생명주기 전반에 걸쳐 수율에 영향을 미치는 불량도 찾아낼 수 있다. 차세대 반도체 생산 시 발생하는 문제들을 빠르게 해결하고, 높은 수율을 달성해 공정 마진을 달성할 수 있다.

한편, ‘어플라이드 프로비전’ 시스템은 기존 자사 전자빔 측정계측 및 검사 제품과 광학 패턴 웨이퍼 계측 생산 라인 보완도 가능하다. 이미 주요 파운드리 및 메모리 반도체 제조사들로부터 재주문을 포함해 12개 이상을 출하하며 성공을 거두고 있다. 해당 제품은 2016년 하반기에 추가로 기존 및 신규 고객사에게 인도될 예정이다.

Copyright ⓒ Acrofan All Right Reserved.

디지털 마케팅의 새로운 장을 만들다! 신개념 퍼포먼스마케팅 플랫폼 '텐핑'

[명칭] 아크로팬   [제호] 아크로팬(ACROFAN)    [발행인] 유재용    [편집인] 유재용    [청소년보호책임자] 권용만
Copyright © ACROFAN All Right Reserved